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平面平晶的主要應(yīng)用介紹
日期：2024-11-16 01:00
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摘要：
平行平晶是用于以干涉法測(cè)量塊規(guī)，以及檢驗(yàn)塊規(guī)、量規(guī)、零件密封面、測(cè)量?jī)x器及測(cè)量工具量面的研合性和平面度的 常用工具。具有兩個(gè)（或一個(gè)）光學(xué)測(cè)量平面的正圓柱形或長(zhǎng)方形的量規(guī)。光學(xué)測(cè)量平面是表面粗糙度數(shù)值和平面度誤差都極小的玻璃平面，它能夠產(chǎn)生光波干涉條紋（見激光測(cè)長(zhǎng)技術(shù)）。平晶有平面平晶和平行平晶兩種。平面平晶用于測(cè)量高光潔表面的平面度誤差，為用平面平晶檢驗(yàn)量塊測(cè)量面的平面度誤差。平行平晶的兩個(gè)光學(xué)測(cè)量平面是相互平行的，用于測(cè)量?jī)筛吖鉂嵄砻娴钠叫卸日`差，例如千分尺兩測(cè)量面的平行度誤差.平晶用光學(xué)玻璃或石英玻璃制造。圓柱形平面平晶的直徑通常為 45～150毫米。其光學(xué)測(cè)量平面的平面度誤差為:1級(jí)精度的為0.03～0.05微米；2級(jí)精度的為0.1微米。常見的長(zhǎng)方形平面平晶的有效長(zhǎng)度一般為200毫米。
用途
用途
平行平晶是用于以干涉法測(cè)量塊規(guī)，以及檢驗(yàn)塊規(guī)、量規(guī)、零件密封面、測(cè)量?jī)x器及測(cè)平晶量工具量面的研合性和平面度的 常用工具。
